如今的电子半导体行业在蒸蒸日上，然而在其生产的全部过程中产生的废水却带来了严峻的环境挑战。此类废水通常含有重金属离子、酸碱物质、高浓度有机物等有害于人体健康的物质，因此，研发和应用高效的电子半导体工业废水回用处理技术至关重要。
废水预处理阶段最重要的包含去除废水中的悬浮固体、油类、大颗粒有机物等。常用的预处理技术有格栅过滤、混凝沉淀、气浮等。针对半导体废水中的高浓度重金属离子，能够使用化学沉淀法、离子交换法或者螯合树脂吸附法进行初步去除。
生物处理技术：尽管半导体废水中的有机物大多为难降解物质，但通过优化微生物群落、改进工艺流程，如采用高效厌氧/好氧生物反应器，可以在某些特定的程度上降解废水中的有机污染物。
物理化学处理：高级氧化技术可以有明显效果地地破坏废水中的难降解有机物，转化为易生物降解的小分子物质，提高后续生化处理效果。此外，反渗透、纳滤等膜分离技术能够有效截留废水中的大部分离子态和部分小分子有机物。
重金属去除：对于重金属离子，除了上述提到的化学沉淀法外，还可采用新型纳米吸附材料、生物吸附法、电化学沉积法等进行高效去除。
经深度处理后的废水水质得到非常明显改善，但仍需进一步处理以满足回用要求。此时，可通过双膜法、蒸馏法、离子交换法等深度净化技术，将处理后的废水转化为可供生产的基本工艺再次使用的回用水，如冷却水、清洗水等。
在全面推行废水资源化的同时，许多企业正积极探索“零排放”解决方案。这包括建立集成化的废污水处理系统，结合蒸发结晶、固化填埋等技术，将最终剩余的浓缩液转化为固态废弃物，最大限度地减少废水排放
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